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整个VOCs废气净化装置的去除效率可以达到95%，恶臭浓度的去除率可以达到99.4%。
光氧催化废气处理设备工艺流程
有机气体进入配备特殊谱效紫外线灯的高效紫外线光解氧化模块腔体后，紫外线光源的谱范围是200纳米到450纳米，以365纳米为中心，高能紫外线和臭氧对有机气体的氧化反应同时分解，特殊气味气体材料降解为低分子化合物、水和二氧化碳。
有机废气的有效去除气体随后被后置的活性炭吸附装置吸收。根据项目运行情况的监测，整个VOCs废气净化装置的去除效率可以达到95%，恶臭浓度的去除率可以达到99.4%。
